Fabrication of cantilever based mass sensors inteagrated with CMOS using direct write laser lithography on resist

Forsén, E (författare)

Nilsson, S G (författare)

Carlberg, Patrick (författare)

Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH

visa fler...

Abadal, G (författare)

Pérez-Murano, F (författare)

Esteve, J (författare)

Montserrat, J (författare)

Figueras, E (författare)

Campabadal, F (författare)

Verd, J (författare)

Montelius, Lars (författare)

Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH

Barniol, N (författare)

Boisen, A (författare)

visa färre...

 (creator_code:org_t)

2004

2004

Engelska.

Ingår i: Nanotechnol 15, S628-S633 (2004).

Relaterad länk:

https://lup.lub.lu.s...

• Konferensbidrag (refereegranskat)