Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:0755ee4d-2b04-4b97-a739-cef7a8b2f84c" >
Internal oxidation ...
Internal oxidation of low dose separation by implanted oxygen wafers in different oxygen/nitrogen mixtures
-
- Ericsson, Per, 1968 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
(creator_code:org_t)
- 1997
- 1997
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Physics Letters. ; 71:16, s. 2310-2312
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas