Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:0feaaf4b-43e6-44ce-89bd-f3a1cf9d7084" >
A Silicon Resonant ...
A Silicon Resonant Sensor Structure for Coriolis Mass Flow Measurements
-
- Enoksson, Peter, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
Stemme, Göran, 1958 (författare)
-
Stemme, Erik (författare)
-
(creator_code:org_t)
- 1997
- 1997
- Engelska.
-
Ingår i: IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 6, No. 2. ; , s. 119-125
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Maskinteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Mechanical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Kemiteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Chemical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas