Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:255fec6a-64eb-4a9a-9281-c1ca5e390245" >
Encapsulation of si...
Encapsulation of silicon resonant structures
-
Corman, Thierry (författare)
-
- Enoksson, Peter, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
Stemme, Göran, 1958 (författare)
-
(creator_code:org_t)
- 1998
- 1998
- Engelska.
-
Ingår i: Micro Structure Workshop 1998 (MSW’98), March 26-27, Uppsala, Sweden.
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Maskinteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Mechanical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Kemiteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Chemical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)