Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Annan teknik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Kemiteknik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Chemical Engineering (hsv//eng)

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)

Publikations- och innehållstyp

art (ämneskategori)

ref (ämneskategori)