Singlemode tunable VCSELs with integrated MEMS technology

• A simple MEMS technology for wafer-scale integration of short-wavelength tunable VCSELs is presented. Using a 3D model the half-symmetric cavity is optimized for singlemode emission from 10 μm large apertures over 12 nm tuning range.

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik -- Telekommunikation (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Telecommunications (hsv//eng)

NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Atom- och molekylfysik och optik (hsv//swe)

NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Atom and Molecular Physics and Optics (hsv//eng)

Nyckelord

VCSEL

tunable laser

MEMS

vertical-cavity surface-emitting laser

Microelectromechanical system

Publikations- och innehållstyp

kon (ämneskategori)

ref (ämneskategori)