Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:77c1bac9-6890-45ca-a694-61ead7ed0203" >
Depleted semi-insul...
Depleted semi-insulating silicon/silicon material formed by wafer bonding
-
- Johansson, Mikael (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
(creator_code:org_t)
- 2000
- 2000
- Engelska.
-
Ingår i: Journal Of Applied Physics. ; 88:2, s. 1118-1123
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas