Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:a4ad0320-dc59-4053-a43c-5a08bb330e3c" >
A Coriolis mass flo...
A Coriolis mass flow sensor structure in silicon
-
- Enoksson, Peter, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
Stemme, Göran, 1958 (författare)
-
Stemme, Erik (författare)
-
(creator_code:org_t)
- 1996
- 1996
- Engelska.
-
Ingår i: IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems (1996 MEMS), Feb. 11-15, San Diego, USA.
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Maskinteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Mechanical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Kemiteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Chemical Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)