Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:aaba77db-b227-496d-8ce4-dc59325c64c0" >
Effect of substrate...
Effect of substrates and underlayer on CNT synthesis by plasma enhanced CVD
-
- Xu, Liang (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Jiang, Di, 1983 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Fu, Yifeng, 1984 (författare)
- SHT Smart High-Tech AB
-
visa fler...
-
- Xavier, S. (författare)
- Thales Group
-
- Bansropun, S. (författare)
- Thales Group
-
- Ziaei, A. (författare)
- Thales Group
-
- Tu, S. (författare)
- East China University of Science and Technology
-
- Liu, Johan, 1960 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2013-09-10
- 2013
- Engelska.
-
Ingår i: Advances in Manufacturing. - : Springer Science and Business Media LLC. - 2095-3127 .- 2195-3597. ; 1:3, s. 236-240
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://link.springe...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://research.cha...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Due to their unique thermal, electronic and mechanical properties, carbon nanotubes (CNTs) have aroused various attentions of many researchers. Among all the techniques to fabricate CNTs, plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) has been extensively developed as one growth technique to produce vertically-aligned carbon nanotubes (VACNTs). Though CNTs show a trend to be integrated into nanoelectromechanical system (NEMS), CNT growth still remains a mysterious technology. This paper attempts to reveal the effects of substrates and underlayers to CNT synthesis. We tried five different substrates by substituting intrinsic Si with high resistivity ones and by increasing the thickness of SiO2 insulativity layer. And also, we demonstrated an innovative way of adjusting CNT density by changing the thickness of Cu underlayer. © 2013 Shanghai University and Springer-Verlag Berlin Heidelberg.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
Nyckelord
- Effect
- Substrate
- Carbon nanotube (CNT)
- Underlayer
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Xu, Liang
-
Jiang, Di, 1983
-
Fu, Yifeng, 1984
-
Xavier, S.
-
Bansropun, S.
-
Ziaei, A.
-
visa fler...
-
Tu, S.
-
Liu, Johan, 1960
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
-
Advances in Manu ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola