Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:c2f09225-6eb3-4609-992a-2f2871a5f324" >
A study of the dopi...
A study of the doping influence on strain relaxation of graded composition InGaAs layers grown by molecular beam epitaxy
-
- Tångring, Ivar, 1978 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Song, Yuxin, 1981 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Lai, Zonghe, 1948 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa fler...
-
- Wang, Shu Min, 1963 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Sadeghi, Mahdad, 1964 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Larsson, Anders, 1957 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2009
- 2009
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Crystal Growth. - 0022-0248. ; 311, s. 1684-
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We investigate the role of p- and n-type doping in strain relaxation of graded composition InGaAs layers grown by molecular beam epitaxy. It is found that p-type Be-doping can improve material properties, resulting in smaller surface roughness and lower threading dislocation density, while n-type Si-doping has an opposite effect. The effect is strongly dependent on the grading profile, with linear grading showing small differences, while there is a significant difference when an exponential grading is used. Since doping is essential for many types of devices, these results are useful for improving the material properties and performance of metamorphic devices.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- Molecular beam epitaxy
- Dislocations
- Semiconducting III–V materials
- Doping
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Tångring, Ivar, ...
-
Song, Yuxin, 198 ...
-
Lai, Zonghe, 194 ...
-
Wang, Shu Min, 1 ...
-
Sadeghi, Mahdad, ...
-
Larsson, Anders, ...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Cryst ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola