Tyck till om SwePub Sök här!
WFRF:(Jedrasik Piotr 1957 )
Sökning: WFRF:(Jedrasik Piotr 1957 ) > (2005-2009) > Nilsson Bengt 1954 > Field-effect transi...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Field-effect transistors with thin ZnO as active layer for gas sensor applications
- Farmakis, F. V. (författare)
- Speliotis, T. (författare)
- Alexandrou, K. P. (författare)
- visa fler...
- Tsamis, C. (författare)
- Kompitsas, M. (författare)
- Fasaki, I. (författare)
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2007
- 2007
- Engelska.
- Ingår i: Microelectronic Engineering. - : Elsevier BV. - 0167-9317. ; 85:5-6, s. 1035-1038
- Konferensbidrag (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Zinc oxide based field-effect devices prepared for gas sensing applications are studied. For this purpose, bottom-gate transistors were fabricated using Pd as source and drain interdigitated electrodes with gate lengths varying from 0.3 to 2 mu m. Thin (50 nm) zinc oxide films were grown with the aid of pulsed laser deposition (PLD) at room temperature and served as active and sensing layer. AFM and XRD analysis demonstrated the polycrystalline nature of the c-axis oriented ZnO films with nanoscale grain size (20-40 nm) with relatively high average roughness. Electrical and gas sensing measurements from the above-mentioned devices are presented. (C) 2008 Elsevier B.V. All rights reserved.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- zinc oxide
- bottom-gate FETs
- pulsed laser deposition
- gas sensor
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Microelectronic Engineering (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Farmakis, F. V.
- Speliotis, T.
- Alexandrou, K. P ...
- Tsamis, C.
- Kompitsas, M.
- Fasaki, I.
- visa fler...
- Jedrasik, Piotr, ...
- Petersson, Göran ...
- Nilsson, Bengt, ...
- visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- Artiklar i publikationen
- Microelectronic ...
- Av lärosätet
- Chalmers tekniska högskola
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
