Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:1d5d6367-4ab3-4440-8c2a-fea62551d815" >
Fabrication process...
Fabrication process and 110 GHz measurement result of MS-to-CPW RF-via transition for RF-MEMS devices packaging applications
-
- Hsu, Li-Han, 1981 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Wu, Wei-Cheng, 1979 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Chang, E. Y. (författare)
- National Chiao Tung University
-
visa fler...
-
- Zirath, Herbert, 1955 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Wu, Y. C. (författare)
- National Chiao Tung University
-
- Wang, C. T. (författare)
- National Chiao Tung University
-
- Tsai, S. P. (författare)
- National Chiao Tung University
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- ISBN 9781893580138
- 2009
- 2009
- Engelska.
-
Ingår i: 2009 International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology, CS MANTECH 2009. - 9781893580138
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- This paper presents the fabrication process of RF-via (0-level) and flip-chip bump (1-level) transitions for applications of packaging MS (microstrip) RF-MEMS devices. The interconnect structure with MS-to-CPW transition between GaAs MEMS substrate and Al2O3 motherboard was in-house fabricated. A novel fabrication process for RF-MEMS packaging is in detail. After fabrication, the samples were measured up to 110 GHz using on-wafer probing measurement. From the measured results, the insertion loss of entire interconnect structure is better than -2 dB up to 100 GHz, documenting the feasibility for millimeter-wave RF-MEMS devices packaging applications.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Fabrication
- Packaging
- Microelectromechanical device
- Microstrip
- Millimeter-wave
Publikations- och innehållstyp
- kon (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Hsu, Li-Han, 198 ...
-
Wu, Wei-Cheng, 1 ...
-
Chang, E. Y.
-
Zirath, Herbert, ...
-
Wu, Y. C.
-
Wang, C. T.
-
visa fler...
-
Tsai, S. P.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
- Artiklar i publikationen
-
2009 Internation ...
- Av lärosätet
-
Chalmers tekniska högskola