SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:c2f09225-6eb3-4609-992a-2f2871a5f324"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:c2f09225-6eb3-4609-992a-2f2871a5f324" > A study of the dopi...

A study of the doping influence on strain relaxation of graded composition InGaAs layers grown by molecular beam epitaxy

Tångring, Ivar, 1978 (författare)
Chalmers University of Technology,Chalmers tekniska högskola
Song, Yuxin, 1981 (författare)
Chalmers University of Technology,Chalmers tekniska högskola
Lai, Zonghe, 1948 (författare)
Chalmers University of Technology,Chalmers tekniska högskola
visa fler...
Wang, Shu Min, 1963 (författare)
Chalmers University of Technology,Chalmers tekniska högskola
Sadeghi, Mahdad, 1964 (författare)
Chalmers University of Technology,Chalmers tekniska högskola
Larsson, Anders, 1957 (författare)
Chalmers University of Technology,Chalmers tekniska högskola
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2009
2009
Engelska.
Ingår i: Journal of Crystal Growth. - 0022-0248. ; 311, s. 1684-
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • We investigate the role of p- and n-type doping in strain relaxation of graded composition InGaAs layers grown by molecular beam epitaxy. It is found that p-type Be-doping can improve material properties, resulting in smaller surface roughness and lower threading dislocation density, while n-type Si-doping has an opposite effect. The effect is strongly dependent on the grading profile, with linear grading showing small differences, while there is a significant difference when an exponential grading is used. Since doping is essential for many types of devices, these results are useful for improving the material properties and performance of metamorphic devices.

Nyckelord

Molecular beam epitaxy
Dislocations
Semiconducting III–V materials
Doping

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy