SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "L773:9781945291845 OR L773:9781945291852 "

Sökning: L773:9781945291845 OR L773:9781945291852

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Jokubavicius, Valdas, 1983-, et al. (författare)
  • Silicon Carbide Surface Cleaning and Etching
  • 2018
  • Ingår i: Advancing Silicon Carbide Electronics Technology I. - : Materials Research Forum LLC. - 9781945291845 - 9781945291852 ; , s. 1-26
  • Bokkapitel (refereegranskat)abstract
    • Silicon carbide (SiC) surface cleaning and etching (wet, electrochemical, thermal) are important technological processes in preparation of SiC wafers for crystal growth, defect analysis or device processing. While removal of organic, particulate and metallic contaminants by chemical cleaning is a routine process in research and industrial production, the etching which, in addition to structural defects analysis, can also be used to modify wafer surface structure, is very interesting for development of innovative device concepts. In this book chapter we review SiC chemical cleaning and etching procedures and present perspectives of SiC etching for new device development.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
bokkapitel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Yakimova, Rositsa, 1 ... (1)
Syväjärvi, Mikael, 1 ... (1)
Jokubavicius, Valdas ... (1)
Lärosäte
Linköpings universitet (1)
Språk
Engelska (1)
År
2018 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy