SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Lutzer B.) "

Sökning: WFRF:(Lutzer B.)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Bethge, O., et al. (författare)
  • Effective reduction of trap density at the Y2O3/Ge interface by rigorous high-temperature oxygen annealing
  • 2014
  • Ingår i: Journal of Applied Physics. - : AIP Publishing. - 0021-8979 .- 1089-7550. ; 116:21, s. 214111-
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • The impact of thermal post deposition annealing in oxygen at different temperatures on the Ge/Y2O3 interface is investigated using metal oxide semiconductor capacitors, where the yttrium oxide was grown by atomic layer deposition from tris(methylcyclopentadienyl) yttrium and H2O precursors on n-type (100)-Ge substrates. By performing in-situ X-ray photoelectron spectroscopy, the growth of GeO during the first cycles of ALD was proven and interface trap densities just below 1 x 10(11) eV(-1) cm(-2) were achieved by oxygen annealing at high temperatures (550 degrees C-600 degrees C). The good interface quality is most likely driven by the growth of interfacial GeO2 and thermally stabilizing yttrium germanate.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Zimmermann, C. (1)
Bertagnolli, E. (1)
Simsek, S (1)
Bethge, O. (1)
Lutzer, B. (1)
Smoliner, J. (1)
visa fler...
Stoeger-Pollach, M. (1)
Henkel, Christoph (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
År
2014 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy