SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Mastropaolo E.) "

Sökning: WFRF:(Mastropaolo E.)

  • Resultat 1-2 av 2
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Henry, Anne, 1959-, et al. (författare)
  • Single Crystal and Polycrystalline 3C-SiC for MEMS Applications
  • 2009
  • Ingår i: Materials Science Forum Vols. 615-617. - : Trans Tech Publications. - 9780878493340 ; , s. 625-628
  • Konferensbidrag (refereegranskat)abstract
    • Cantilever resonators have been fabricated from two types of materials, single crystal and polycrystalline 3C-SiC films. The films have been grown in a hot-wall chemical vapor deposition reactor on 100 mm diameter p-type boron-doped (100) Si wafer without rotation of the wafer. The crystal structure of the films have been accessed with X-ray diffraction. The cantilever devices have been fabricated using a one-step etch and release process; the beam length has been varied between 50 and 200 µm. Resonant frequencies in the range 110 KHz – 1.5 MHz and 50 – 750 KHz have been obtained for single crystal and polycrystalline SiC devices, respectively. Furthermore, the experimental resonance frequencies have been used to calculate the Young’s Modulus E for the two different types of SiC. The single crystal SiC, possessing a very high Young’s Modulus (446 GPa), should be an optimal material for RF-MEMS applications.
  •  
2.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-2 av 2

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy