| 1. |
|
|
| 2. |
|
|
| 3. |
- Abermann, S., et al.
(författare)
-
Processing and evaluation of metal gate/high-k/Si capacitors incorporating Al, Ni, TiN, and Mo as metal gate, and ZrO2 and HfO2 as high-k dielectric
- 2007
-
Ingår i: Microelectronic Engineering. - : Elsevier BV. - 0167-9317 .- 1873-5568. ; 84:5-8, s. 1635-1638
-
Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
- We evaluate various metal gate/high-k/Si capacitors by their resulting electrical characteristics. Therefore, we process MOS gate stacks incorporating aluminium (Al), nickel (Ni), titanium-nitride (TiN), and molybdenum (Mo) as the gate material, and metal organic chemical vapour deposited (MOCVD) ZrO2 and HfO2 as the gate dielectric, respectively. The influence of the processing sequence - especially of the thermal annealing treatment - on the electrical characteristics of the various gate stacks is being investigated. Whereas post metallization annealing in forming gas atmosphere improves capacitance-voltage behaviour (due to reduced interface-, and oxide charge density), current-voltage characteristics degrade due to a higher leakage current after thermal treatment at higher temperatures. The Flatband-voltage values for the TiN-, Mo-, and Ni-capacitors indicate mid-gap pinning of the metal gates, however, Ni seems to be thermally unstable on ZrO2, at least within the process scheme we applied.
|
|
| 4. |
|
|
| 5. |
- Ahlberg, Patrik, et al.
(författare)
-
A two-in-one process for reliable graphene transistors processed with photolithography
- 2015
-
Ingår i: Applied Physics Letters. - : AIP Publishing. - 0003-6951 .- 1077-3118. ; 107:20
-
Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
- Research on graphene field-effect transistors (GFETs) has mainly relied on devices fabricated using electron-beam lithography for pattern generation, a method that has known problems with polymer contaminants. GFETs fabricated via photo-lithography suffer even worse from other chemical contaminations, which may lead to strong unintentional doping of the graphene. In this letter, we report on a scalable fabrication process for reliable GFETs based on ordinary photo-lithography by eliminating the aforementioned issues. The key to making this GFET processing compatible with silicon technology lies in a two-in-one process where a gate dielectric is deposited by means of atomic layer deposition. During this deposition step, contaminants, likely unintentionally introduced during the graphene transfer and patterning, are effectively removed. The resulting GFETs exhibit current-voltage characteristics representative to that of intrinsic non-doped graphene. Fundamental aspects pertaining to the surface engineering employed in this work are investigated in the light of chemical analysis in combination with electrical characterization.
|
|
| 6. |
- Ahlberg, Patrik, 1985-, et al.
(författare)
-
Interface Dependent Effective Mobility in Graphene Field Effect Transistors
- 2018
-
Ingår i: Journal of Electronic Materials. - : Springer Science and Business Media LLC. - 0361-5235 .- 1543-186X. ; 47:3, s. 1757-1761
-
Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
- By pretreating the substrate of a graphene field-effect transistor (G-FET), a stable unipolar transfer characteristic, instead of the typical V-shape ambipolar behavior, has been demonstrated. This behavior is achieved through functionalization of the SiO2/Si substrate that changes the SiO2 surface from hydrophilic to hydrophobic, in combination with postdeposition of an Al2O3 film by atomic layer deposition (ALD). Consequently, the back-gated G-FET is found to have increased apparent hole mobility and suppressed apparent electron mobility. Furthermore, with addition of a top-gate electrode, the G-FET is in a double-gate configuration with independent top- or back-gate control. The observed difference in mobility is shown to also be dependent on the top-gate bias, with more pronounced effect at higher electric field. Thus, the combination of top and bottom gates allows control of the G-FET's electron and hole mobilities, i.e., of the transfer behavior. Based on these observations, it is proposed that polar ligands are introduced during the ALD step and, depending on their polarization, result in an apparent increase of the effective hole mobility and an apparent suppressed effective electron mobility.
|
|
| 7. |
- Andersson, Per, et al.
(författare)
-
Utbildningsinsats för att höja den pedagogiska digitala kompetensen
- 2016
-
Konferensbidrag (refereegranskat)abstract
- Under 2015 genomförde Medicinska fakulteten vid Umeå universitet en satsning för att höja den Pedagogiska Digitala Kompetensen (PDK) bland sina medarbetare i syfte att öka de digitala inslagen i undervisningen. En del i satsningen var att genomföra en utbildningsinsats. Uppdraget gavs till Pedagogiska institutionen som i samarbete med Universitetspedagogik och lärandestöd (UPL) genomförde ett antal seminarier under 2015. Deltagarna hade möjlighet att delta på plats i Umeå eller via nätet. Målsättningen var att varje seminarium skulle innehålla både teoretiska och praktiska inslag och en progression från inledande förmedlande information till allt fler deltagaraktiva inslag. Under hösten 2015 genomfördes även en workshop, som utgjorde en fördjupning där deltagarna med utgångspunkt i en fiktiv kursplan samt metoden flipped classroom utarbetade egna förslag till kursdesign och undervisningsaktiviteter med stöd av digital teknik. Exempel på digital teknik som deltagarna har fått ta del av eller själva arbeta med under utbildningsinsatsen är Moodle, Googleapps, Adobe connect, Socrative, Screen cast-o-matic och Prezi. En webbresurs har funnits tillgänglig som komplement till seminarieserien. Där har deltagarna haft tillgång till instruktioner, frågeställningar, föreläsningsfilmer samt de digitala presentationerna som hållits under seminarierna. Utöver detta har även ett s.k. bonusmaterial i form av länkar och frivilliga uppgifter tillhandahållits för de som varit intresserade att fördjupa sig inom exempelvis e-lärande i relation till pedagogisk meritering. Totalt medverkade ca 100 deltagare, som representerade 20 utbildningsprogram på fakulteten, i utbildningsinsatsen. Utvärderingen av insatsen visar att majoriteten av deltagare upplever att de höjt sin pedagogiska digitala kompetens i hög eller mycket hög utsträckning. De uttrycker även att de tillägnat sig generella kunskaper, vilket ses som en viktig grund för det egna arbetet med att öka de digitala inslagen i undervisningen. En annan framträdande synpunkt är att de praktiska och exemplifierande inslagen har uppfattats som betydligt mer värdefulla från ett lärandeperspektiv än de inledande teoretiskt inriktade inslagen. Resultatet visar också att majoriteten anser att de ökat sina kunskaper om digitala resurser och verktyg som kan användas i undervisningen. Även webbresursen har använts flitigt. Utvärderingen visar att majoriteten anser att webbresursen varit ett bra komplement till seminarieserien. Detta återspeglas också i de loggdata som visar på relativt omfattande besöksfrekvenser. Att seminariematerialet fanns samlat på ett ställe och tillgängligt för deltagarna före och efter seminarierna har haft stor betydelse för deltagarna. Därmed underlättades deras förberedelser inför seminarierna och möjligheten gavs att i efterhand repetera och ytterligare fördjupa sina kunskaper.Sammanfattningsvis visar resultaten från utvärderingen att målen med utbildningsinsatsen uppnåtts på ett tillfredsställande sätt, och att satsningen sålunda fallit väl ut. En aspekt som inte framkommit ovan men som är värd att lyftas fram är det faktum att ett flertal kommentarer i utvärderingarna handlar om ett ökande intresse för, och en ökande nyfikenhet på, att integrera digitala inslag i sin egen undervisningspraktik i större utsträckning än tidigare. Den samlade bedömningen är att Medicinsk fakultet vid Umeå universitet i och med denna satsning lagt en mycket god grund för fortsatta utvecklingsarbeten avseende PDK.
|
|
| 8. |
- Andersson, Per, et al.
(författare)
-
Utbildningsinsats för att höja den pedagogiskt digitala kompetensen
- 2016
-
Konferensbidrag (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)abstract
- Under 2015 genomförde Medicinska fakulteten vid Umeå universitet en satsning för att höja den Pedagogiska Digitala Kompetensen (PDK) bland sina medarbetare i syfte att öka de digitala inslagen i undervisningen. En del i satsningen var att genomföra en utbildningsinsats. Uppdraget gavs till Pedagogiska institutionen som i samarbete med Universitetspedagogik och lärandestöd (UPL) genomförde ett antal seminarier under 2015. Deltagarna hade möjlighet att delta på plats i Umeå eller via nätet. Målsättningen var att varje seminarium skulle innehålla både teoretiska och praktiska inslag och en progression från inledande förmedlande information till allt fler deltagaraktiva inslag. Under hösten 2015 genomfördes även en workshop, som utgjorde en fördjupning där deltagarna med utgångspunkt i en fiktiv kursplan samt metoden flipped classroom utarbetade egna förslag till kursdesign och undervisningsaktiviteter med stöd av digital teknik. Exempel på digital teknik som deltagarna har fått ta del av eller själva arbeta med under utbildningsinsatsen är Moodle, Googleapps, Adobe connect, Socrative, Screen cast-o-matic och Prezi.En webbresurs har funnits tillgänglig som komplement till seminarieserien. Där har deltagarna haft tillgång till instruktioner, frågeställningar, föreläsningsfilmer samt de digitala presentationerna som hållits under seminarierna. Utöver detta har även ett s.k. bonusmaterial i form av länkar och frivilliga uppgifter tillhandahållits för de som varit intresserade att fördjupa sig inom exempelvis e-lärande i relation till pedagogisk meritering.Totalt medverkade ca 100 deltagare, som representerade 20 utbildningsprogram på fakulteten, i utbildningsinsatsen. Utvärderingen av insatsen visar att majoriteten av deltagare upplever att de höjt sin pedagogiska digitala kompetens i hög eller mycket hög utsträckning. De uttrycker även att de tillägnat sig generella kunskaper, vilket ses som en viktig grund för det egna arbetet med att öka de digitala inslagen i undervisningen. En annan framträdande synpunkt är att de praktiska och exemplifierande inslagen har uppfattats som betydligt mer värdefulla från ett lärandeperspektiv än de inledande teoretiskt inriktade inslagen. Resultatet visar också att majoriteten anser att de ökat sina kunskaper om digitala resurser och verktyg som kan användas i undervisningen.Även webbresursen har använts flitigt. Utvärderingen visar att majoriteten anser att webbresursen varit ett bra komplement till seminarieserien. Detta återspeglas också i de loggdata som visar på relativt omfattande besöksfrekvenser. Att seminariematerialet fanns samlat på ett ställe och tillgängligt för deltagarna före och efter seminarierna har haft stor betydelse för deltagarna. Därmed underlättades deras förberedelser inför seminarierna och möjligheten gavs att i efterhand repetera och ytterligare fördjupa sina kunskaper.Sammanfattningsvis visar resultaten från utvärderingen att målen med utbildningsinsatsen uppnåtts på ett tillfredsställande sätt, och att satsningen sålunda fallit väl ut. En aspekt som inte framkommit ovan men som är värd att lyftas fram är det faktum att ett flertal kommentarer i utvärderingarna handlar om ett ökande intresse för, och en ökande nyfikenhet på, att integrera digitala inslag i sin egen undervisningspraktik i större utsträckning än tidigare. Den samlade bedömningen är att Medicinsk fakultet vid Umeå universitet i och med denna satsning lagt en mycket god grund för fortsatta utvecklingsarbeten avseende PDK.
|
|
| 9. |
- Ankarcrona, Johan, et al.
(författare)
-
Simulation and modeling of the substrate contribution to the output resistance for RF-LDMOS power transistors
- 2004
-
Ingår i: Solid-State Electronics. - : Elsevier BV. - 0038-1101 .- 1879-2405. ; 48:5, s. 789-797
-
Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
- High frequency substrate losses for RF MOSFETs are analyzed using numerical device simulation. The results show that losses in devices made on low resistivity substrate occur through the substrate while losses in devices made on high resistivity substrate in the high frequency region occur along the surface through the device (source–drain). An equivalent circuit model is developed which accurately describes the off-state losses. Based on the model significant improvements in terms of output resistance are demonstrated, using an improved device on high resistivity substrate.
|
|
| 10. |
|
|
