SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(RWilliams J.) "

Sökning: WFRF:(RWilliams J.)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Bell, D. C., et al. (författare)
  • Precision cutting and patterning of graphene with helium ions
  • 2009
  • Ingår i: Nanotechnology. - : IOP Publishing. - 0957-4484 .- 1361-6528. ; 20:45, s. 455301-
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • We report nanoscale patterning of graphene using a helium ion microscope configured for lithography. Helium ion lithography is a direct-write lithography process, comparable to conventional focused ion beam patterning, with no resist or other material contacting the sample surface. In the present application, graphene samples on Si/SiO(2) substrates are cut using helium ions, with computer controlled alignment, patterning, and exposure. Once suitable beam doses are determined, sharp edge profiles and clean etching are obtained, with little evident damage or doping to the sample. This technique provides fast lithography compatible with graphene, with similar to 15 nm feature sizes.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Lemme, Max C., 1970- (1)
Bell, D. C. (1)
Stern, L. A. (1)
RWilliams, J. (1)
Marcus, C. M. (1)
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Teknik (1)
År
2009 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy