SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Rockward W.) "

Sökning: WFRF:(Rockward W.)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Wachulak, P., et al. (författare)
  • Interferometric lithography with an amplitude division interferometer and a desktop extreme ultraviolet laser
  • 2008
  • Ingår i: Journal of the Optical Society of America. B, Optical physics. - : Optical Society of America. - 0740-3224 .- 1520-8540. ; 25:7, s. B104-B107
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • We demonstrate a compact interferometric lithography nanopatterning tool based on an amplitude division interferometer (ADI) and a 46.9 nm wavelength desktop size capillary discharge laser. The system is designed to print arrays of lines, holes, and dots with sizes below 100 nm on high resolution photoresists for the fabrication of arrays of nanostructures with physical and biological applications. The future combination of this ADI with high repetition rate tabletop lasers operating at shorter wavelengths should allow the printing of arrays of sub-10 nm size features with a tabletop setup.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Hill, D. (1)
Martz, Dale (1)
Rocca, J. J. (1)
Menoni, C. S. (1)
Anderson, E (1)
Marconi, M. (1)
visa fler...
Heinbuch, S (1)
Grisham, M (1)
Wachulak, P. (1)
Rockward, W. (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
År
2008 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy