SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Skjolding L.h.d.) "

Sökning: WFRF:(Skjolding L.h.d.)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Bilenberg, B., et al. (författare)
  • High resolution 100kV electron beam lithography in SU-8
  • 2006
  • Ingår i: Microelectronic Engineering. - : Elsevier BV. - 0167-9317. ; 83:4-9, s. 1609-1612
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • High resolution 100 kV electron beam lithography in thin layers of the negative resist SU-8 is demonstrated. Sub-30 nm lines with a pitch down to 300 nm are written in 100 nm thick SU-8. Two reactive ion etch processes are developed in order to transfer the SU-8 structures into a silicon substrate, a Soft O-2-Plasma process to remove SU-8 residues on the silicon surface after development and a highly anisotropic SF6/O-2/CHF3 based process to transfer the pattern into a silicon substrate, with selectivity between silicon and SU-8 of approximately 2. 30 nm lines patterned in SU-8 are successfully transferred into a silicon substrate, which is used as a stamp in a nanoimprint lithography process to fabricate a nanochannel device for DNA stretching experiments. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Tegenfeldt, J. O. (1)
Kristensen, A (1)
Jacobsen, S (1)
Shi, P. (1)
Bilenberg, B. (1)
Schmidt, M.s. (1)
visa fler...
Skjolding, L.h.d. (1)
Bøggild, P. (1)
visa färre...
Lärosäte
Lunds universitet (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
År
2006 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy