SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Vaha Heikkila T.) "

Sökning: WFRF:(Vaha Heikkila T.)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Saharil, Farizah, et al. (författare)
  • LOW-TEMPERATURE CMOS-COMPATIBLE 3D-INTEGRATION OF MONOCRYSTALLINE-SILICON BASED PZT RF MEMS SWITCH ACTUATORS ON RF SUBSTRATES
  • 2010
  • Ingår i: MEMS 2010. - New York : Ieee. - 9781424457649 ; , s. 47-50
  • Konferensbidrag (refereegranskat)abstract
    • This paper presents a low temperature (200 degrees C) CMOS-compatible fabrication process for integrating high-temperature deposited lead zirconate titanate (PZT) on this film monocrystalline-silicon piezoelectric actuators, onto an RF substrate, and successful demonstration of this process for fabrication of metal-contact RF-MEMS switches. The patterned PZT/silicon multi-layer stack is transfer-bonded from a silicon-on-insulator (SOI) donor wafter to AF-45 glass RF substrate using adhesive wafer transfer bonding. Furthermore, several strategies have been investigate to drastically reduce the post bonding misalignment created by the shear forces between the bonding chucks during wafer bonding.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
konferensbidrag (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Stemme, Göran (1)
Oberhammer, Joachim (1)
Niklaus, Frank (1)
Saharil, Farizah (1)
Rantakari, P (1)
Wright, R.V (1)
visa fler...
Kirby, P.B. (1)
Vaha-Heikkila, T. (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
År
2010 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy