SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Vaschenko Georgiy) "

Sökning: WFRF:(Vaschenko Georgiy)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Brewer, Courtney A., et al. (författare)
  • High spatial resolution full-field microscopy using a desktop-size soft x-ray laser
  • 2007
  • Ingår i: Proceedings of SPIE. - : SPIE.
  • Konferensbidrag (refereegranskat)abstract
    • Images with nanoscale resolution were obtained in both transmission and reflection modes using a full-field microscope that is illuminated by an extremely compact λ = 46.9 nm (hv = 26.4 eV) soft x-ray laser. The microscope was used to image the surface of partially processed silicon semiconductor chips containing periodic patterns of polysilicon and metal lines. To characterize the microscope, modulation transfer functions were experimentally built for three different objective zone plates, and images with near-wavelength resolution were obtained.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy