SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Yin Huaxing) "

Sökning: WFRF:(Yin Huaxing)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Qin, Changliang, et al. (författare)
  • Impact of pattern dependency of SiGe layers grown selectively in source/drain on the performance of 14 nm node FinFETs
  • 2016
  • Ingår i: Solid-State Electronics. - : Elsevier. - 0038-1101 .- 1879-2405. ; 124, s. 10-15
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • A complete mapping of 14 nm FinFETs performance over 200 mm wafers was performed and the pattern dependency of SiGe selective growth was calculated using an empirical kinetic molecule model for the reactant precursors. The transistor structures were analyzed by conventional characterization tools and their performance was simulated by considering the process related variations. The applied model presents for the first time a powerful tool for transistor community to predict the SiGe profile and strain modulating over a processed wafer, independent of wafer size.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Radamson, Henry H. (1)
Kolahdouz, M. (1)
Luo, Jun (1)
Yang, Ping (1)
Wang, Guilei (1)
Li, Junfeng (1)
visa fler...
Ye, Tianchun (1)
Zhu, Huilong (1)
Chao, Zhao (1)
Qin, Changliang (1)
Yin, Huaxing (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Teknik (1)
År

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy