SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Zaunert F) "

Sökning: WFRF:(Zaunert F)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Gottlob, H D B, et al. (författare)
  • Introduction of crystalline high-k gate dielectrics in a CMOS process
  • 2005
  • Ingår i: Journal of Non-Crystalline Solids. - : Elsevier BV. - 0022-3093 .- 1873-4812. ; 351:21-23, s. 1885-1889
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • In this work we report on methods to introduce crystalline rare-earth (RE) oxides with high (k > 3.9) dielectric constants (high-k) in a CMOS process flow. Key process steps compatible with crystalline praseodymium oxide (Pr2O3) high-k gate dielectric have been developed and evaluated in metal-oxide-semiconductor (MOS) structures and n-MOS transistors fabricated in an adapted conventional bulk process. From capacitance-voltage measurements a dielectric constant of k = 36 has been calculated. Furthermore an alternative process sequence suitable for the introduction of high-k material into silicon on insulator (SOI) MOS-field-effect-transistors (MOSFET) is presented. The feasibility of this process is shown by realization of n- and p-MOSFETs with standard SiO2 gate dielectric as demonstrator. SiO2 gate dielectric can be replaced by crystalline RE-oxides in the next batch fabrication.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Lemme, Max C., 1970- (1)
Efavi, J. K. (1)
Kurz, H. (1)
Gottlob, H. D. B. (1)
Wahlbrink, T. (1)
Mollenhauer, T. (1)
visa fler...
Stefanov, Y. (1)
Schwalke, U. (1)
Haberle, K (1)
Komaragiri, R (1)
Ruland, T (1)
Zaunert, F (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Teknik (1)
År
2005 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy