SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Du Anyan) "

Sökning: WFRF:(Du Anyan)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Li, Junjie, et al. (författare)
  • A Novel Dry Selective Isotropic Atomic Layer Etching of SiGe for Manufacturing Vertical Nanowire Array with Diameter Less than 20 nm
  • 2020
  • Ingår i: Materials. - : MDPI AG. - 1996-1944. ; 13:3
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • Semiconductor nanowires have great application prospects in field effect transistors and sensors. In this study, the process and challenges of manufacturing vertical SiGe/Si nanowire array by using the conventional lithography and novel dry atomic layer etching technology. The final results demonstrate that vertical nanowires with a diameter less than 20 nm can be obtained. The diameter of nanowires is adjustable with an accuracy error less than 0.3 nm. This technology provides a new way for advanced 3D transistors and sensors.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy