SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Wälivaara B.) "

Sökning: WFRF:(Wälivaara B.)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Lloyd Spetz, Anita, et al. (författare)
  • X-ray photoemission and Auger electron spectroscopy analysis of fast responding activated metal oxide silicon carbide gas sensors
  • 1997
  • Ingår i: Thin Solid Films. - : Elsevier. - 0040-6090 .- 1879-2731. ; 299:1-2, s. 183-189
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • Platinum-silicon dioxide-silicon carbide, MOSiC, sensors are possible to operate at high temperatures and show a gas sensitivity pattern which is of interest for many applications including exhaust gases from car engines. The introduction of a buffer layer of tantalum silicide between the metal and the silicon dioxide resulted, after an annealing step, in a very good adhesion of the gate contact and fast responding sensors with improved signal stability. Depth profiling using X-ray photoemission and Auger electron spectroscopy showed that the annealing step converts the tantalum silicide to a mixed phase predominantly containing tantalum pentoxide. Tantalum silicide as well as platinum silicide are also present in the metal-oxide interface region.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Lundström, Ingemar (1)
Lloyd Spetz, Anita (1)
Baranzahi, Amir (1)
Schmeisser, D (1)
Göpel, W. (1)
Wälivaara, B. (1)
Lärosäte
Linköpings universitet (1)
Språk
Engelska (1)
År
1997 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy