SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Petersson P) ;srt2:(1978-1979)"

Sökning: WFRF:(Petersson P) > (1978-1979)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Possnert, G, et al. (författare)
  • Oxygen content and depth profiling in silicon surface technology studied by the 16O(α, α)16O resonance at 3.045 MeV
  • 1978
  • Ingår i: Physica Scripta. - 0031-8949 .- 1402-4896. ; 18, s. 353-356
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • The use of the t6O(o,o)160 elastic scattering resonance reaction forthe study of low concentration of oxygen such as found in interfacesin silicon technology is described. We have investigated the depth resolution and the limit of the sensitivity that can be obtained with thismethod. The method has been applied to the study of AlrQ{r "sandwich" film structures and to Au and amorphous Ge contacts to silicon.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Petersson, Sture (1)
Possnert, G (1)
Fahlander, C. (1)
Orre, B (1)
Norde, H (1)
Tove, P. A. (1)
Lärosäte
Mittuniversitetet (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
År
1978 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy