SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Romano Rodriguez A) srt2:(2000-2004)"

Sökning: WFRF:(Romano Rodriguez A) > (2000-2004)

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Romano-Rodriguez, A., et al. (författare)
  • Epitaxial growth of beta-SiC on ion-beam synthesized beta-SiC : Structural characterization
  • 2000
  • Ingår i: Silicon Carbide and Related Materials - 1999 Pts, 1 & 2. - : Trans Tech Publications Inc.. ; , s. 309-312
  • Konferensbidrag (refereegranskat)abstract
    • In this work we present for the first time, to our knowledge, the CVD epitaxial growth of β-SiC using an ion beam synthesized (IBS) β-SiC layer as seed, which has been formed by multiple implantation into Si wafers at 500 °C. The ion beam synthesized continuous layer is constituted by β-SiC nanocrystals that are well oriented relative to the silicon substrate. Comparison of the epitaxial growth on these samples with that on silicon test samples, both on and off-axis, is performed. The results show that the epitaxial growth can be achieved on the IBS samples without the need of the carbonization step and that the structural quality of the CVD layer is comparable to that obtained on a carbonized silicon sample. Improvement of the quality of the deposited layer is proposed.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
konferensbidrag (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Östling, Mikael (1)
Karlsson, S. (1)
Morante, J. R. (1)
Esteve, J (1)
Nordell, Nils (1)
Romano-Rodríguez, A (1)
visa fler...
Kögler, R. (1)
Skorupa, W. (1)
Perez-Rodriguez, A. (1)
Serre, C. (1)
Acero, M. C. (1)
Van Landuyt, J. (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Teknik (1)
År
2000 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy