SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-104251" "

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-104251"

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Hu, Cheng, et al. (författare)
  • Characterization of Ni(Si,Ge) films on epitaxial SiGe(100) formed by microwave annealing
  • 2012
  • Ingår i: Applied Physics Letters. - : AIP Publishing. - 0003-6951 .- 1077-3118. ; 101:9, s. 092101-
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • Microwave annealing (MWA) is investigated as an alternative technique to rapid thermal processing with halogen lamp heating (RTP) for low-temperature silicide formation on epitaxially grown Si0.81Ge0.19 layers. Phase formation, resistivity mapping, morphology analysis, and composition evaluation indicate that the formation of low-resistivity NiSi1-xGex by means of MWA occurs at temperatures about 100 degrees C lower than by RTP. Under similar annealing conditions, more severe strain relaxation and defect generation are therefore found in the remaining Si0.81Ge0.19 layers treated by MWA. Although silicidation by microwave heating is in essence also due to thermal effects, details in heating mechanisms differ from RTP.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Noroozi, Mohammad (1)
Zhang, Shi-Li (1)
Gao, Xindong (1)
Radamson, Henry (1)
Zhu, Zhiwei (1)
Wu, Dongping (1)
visa fler...
Hu, Cheng (1)
Xu, Peng (1)
Fu, Chaochao (1)
Jamshidi, Asghar (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Uppsala universitet (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
Teknik (1)
År
2012 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy