SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-16531" "

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-16531"

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Intarasiri, S., et al. (författare)
  • Crystalline quality of 3C-SiC formed by high-fluence C+-implanted Si
  • 2007
  • Ingår i: Applied Surface Science. - : Elsevier BV. - 0169-4332 .- 1873-5584. ; 253:11, s. 4836-4842
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • Carbon ions at 40 keV were implanted into (1 0 0) high-purity p-type silicon wafers at 400 degrees C to a fluence of 6.5 x 10(17) ions/cm(2). Subsequent thermal annealing of the implanted samples was performed in a diffusion furnace at atmospheric pressure with inert nitrogen ambient at 1100 degrees C. Time-of-flight energy elastic recoil detection analysis (ToF-E ERDA) was used to investigate depth distributions of the implanted ions. Infrared transmittance (IR) and Raman scattering measurements were used to characterize the formation of SiC in the implanted Si substrate. X-ray diffraction analysis (XRD) was used to characterize the crystalline quality in the surface layer of the sample. The formation of 3C-SiC and its crystalline structure obtained from the above mentioned techniques was finally confirmed by transmission electron microscopy (TEM). The results show that 3C-SiC is directly formed during implantation, and that the subsequent high-temperature annealing enhances the quality of the polycrystalline SiC.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Lu, Jun (1)
Possnert, Göran (1)
Hallén, Anders. (1)
Jensen, Jens (1)
Bertilsson, Kent (1)
Intarasiri, S. (1)
visa fler...
Yu, L. D. (1)
Singkarat, S. (1)
Wolborski, M. (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Uppsala universitet (1)
Mittuniversitetet (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Teknik (1)
År
2007 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy