SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-83014" "

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-83014"

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Bowallius, Olof, et al. (författare)
  • Scanning Capacitance Microscopy for Two-Dimensional Doping Profiling in Si- and InP-Based Device Structures
  • 1999
  • Ingår i: Physica Scripta T. - 0281-1847. ; 79, s. 163-166
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • We report on the application of cross-sectional Scanning Capacitance Microscopy (SCM) for studying two-dimensional doping variations in Si and InP device structures. Different sample preparation methods were evaluated and the response of the SCM signal from various test structures, including epitaxially grown layers with n- and p-doping concentrations ranging from 5 × 1014 to 2 × 1019 cm-3, were examined under different imaging conditions. The technique was further evaluated by imaging a Si bipolar transistor structure and an InP-based buried heterostructure diode laser. We conclude that valuable information can be gained also from complex device structures.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Radamson, Henry H. (1)
Nilsson, S. (1)
Anand, S. (1)
Ankarcrona, Johan (1)
Hammar, Mattias, 196 ... (1)
Landgren, Gunnar. (1)
visa fler...
Bowallius, Olof (1)
Tilly, L. P. (1)
visa färre...
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
År
1999 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy