↓ Direkt till sidans innehåll
↓ Direkt till sidans sekundära innehåll (sidomenyn)

Träfflista för sökning "(WFRF:(Marconi M)) lar1:(kth) srt2:(2008)"

Sökning: (WFRF:(Marconi M)) lar1:(kth) > (2008)

Resultat 1-2 av 2

Sortera/gruppera träfflistan

Sortering: Träffar per sida:

Numrering	Referens	Omslagsbild	Hitta
1.	Wachulak, P., et al. (författare) Interferometric lithography with an amplitude division interferometer and a desktop extreme ultraviolet laser 2008 Ingår i: Journal of the Optical Society of America. B, Optical physics. - : Optical Society of America. - 0740-3224 .- 1520-8540. ; 25:7, s. B104-B107 Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract We demonstrate a compact interferometric lithography nanopatterning tool based on an amplitude division interferometer (ADI) and a 46.9 nm wavelength desktop size capillary discharge laser. The system is designed to print arrays of lines, holes, and dots with sizes below 100 nm on high resolution photoresists for the fabrication of arrays of nanostructures with physical and biological applications. The future combination of this ADI with high repetition rate tabletop lasers operating at shorter wavelengths should allow the printing of arrays of sub-10 nm size features with a tabletop setup.
2.	Brizuela, F., et al. (författare) Near-wavelength Resolution Extreme Ultraviolet Imaging With a Desktop-size Laser 2008 Ingår i: 2008 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS & QUANTUM ELECTRONICS AND LASER SCIENCE CONFERENCE, VOLS 1-9. ; , s. 400-401 Konferensbidrag (refereegranskat)abstract We have realized the first demonstration of imaging in the extreme ultraviolet (EUV) with near-wavelength spatial resolution, 54 nm, using a uniquely compact full-field microscope that can produce images with a single one nanosecond exposure.

Skapa referenser, mejla, bekava och länka

Länka till träfflistan

Resultat 1-2 av 2

Avgränsa träffmängd

Typ av publikation: konferensbidrag (1); tidskriftsartikel (1)

Typ av innehåll: refereegranskat (2)

Författare/redaktör: Martz, Dale (2); Rocca, J. J. (2); Menoni, C. S. (2); Hill, D. (1); Anderson, E (1); Brewer, C (1); visa fler...; Brizuela, F. (1); Attwood, D T (1); Marconi, M. (1); Chao, W. (1); Anderson, E. H. (1); Vinogradov, A. V. (1); Ponomareko, A. G. (1); Kondratenko, V. V. (1); Marconi, M. C. (1); Artioukov, A. (1); Heinbuch, S (1); Grisham, M (1); Wachulak, P. (1); Rockward, W. (1); visa färre...

Lärosäte: Kungliga Tekniska Högskolan (2)

Språk: Engelska (2)

Forskningsämne (UKÄ/SCB): Naturvetenskap (1); Teknik (1)

År: 2008 (2)Ta bort avgränsningen

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

LIBRIS.kb.se

Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy