SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Bergh Ylva)
 

Sökning: WFRF:(Bergh Ylva) > (1993-1994) > The effects of HF-c...

The effects of HF-cleaning prior to silicon wafer bonding

Ljungberg, Karin (författare)
Bäcklund, Ylva (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
Söderbärg, Anders (författare)
visa fler...
Bergh, Mats (författare)
Andersson, Mats O (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
1993
1993
Engelska.
  • Konferensbidrag (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
kon (ämneskategori)

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy