SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Hahn S. R.) srt2:(1995-1999)"

Sökning: WFRF:(Hahn S. R.) > (1995-1999)

  • Resultat 1-7 av 7
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  •  
2.
  •  
3.
  •  
4.
  •  
5.
  • Hong, J., et al. (författare)
  • Plasma chemistries for high density plasma etching of SiC
  • 1999
  • Ingår i: Journal of Electronic Materials. - Charlottesville, VA, USA. - 0361-5235 .- 1543-186X. ; 28:3, s. 196-201
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • A variety of different plasma chemistries, including SF6, Cl2, ICI, and IBr, have been examined for dry etching of 6H-SiC in high ion density plasma tools (inductively coupled plasma and electron cyclotron resonance). Rates up to 4500 angstroms·min-1 were obtained for SF6 plasmas, while much lower rates (≀800 angstroms·min-1) were achieved with Cl2, ICI, and IBr. The F2-based chemistries have poor selectivity for SiC over photoresist masks (typically 0.4-0.5), but Ni masks are more robust, and allow etch depths ≥10 ÎŒm in the SiC. A micromachining process (sequential etch/deposition steps) designed for Si produces relatively low etch rates (<2,000 angstroms·min-1) for SiC.
  •  
6.
  • Mottola, S, et al. (författare)
  • Physical model of near-Earth asteroid 6489 Golevka (1991 JX) from optical and infrared observations
  • 1997
  • Ingår i: ASTRONOMICAL JOURNAL. - : AMER INST PHYSICS. - 0004-6256. ; 114:3, s. 1234-1245
  • Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)abstract
    • In 1995 asteroid 6489 Golevka (1991 JX) had a close encounter with the Earth at a distance of 0.034 AU, providing a good opportunity for a detailed study of a small Solar System object. In this paper we report the results of an extensive international obs
  •  
7.
  • Mottola, S, et al. (författare)
  • The slow rotation of 253 Mathilde
  • 1995
  • Ingår i: PLANETARY AND SPACE SCIENCE. - : PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD. - 0032-0633. ; 43:12, s. 1609-1613
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • CCD photometry of the NEAR mission fly-by target 253 Mathilde is presented. Measurements taken during 52 nights of observations, from February to June 1995, allow a rotation period of 17.406 +/- 0.010 days and a lightcurve amplitude of 0.45 +/- 0.02 mag t
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-7 av 7

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy