↓ Direkt till sidans innehåll
↓ Direkt till sidans sekundära innehåll (sidomenyn)

Träfflista för sökning "WFRF:(Heinrich Daniel) srt2:(2005-2009)"

Sökning: WFRF:(Heinrich Daniel) > (2005-2009)

Resultat 1-2 av 2

Sortera/gruppera träfflistan

Sortering: Träffar per sida:

Numrering	Referens	Omslagsbild	Hitta
1.	Horowitz, Gary L, et al. (författare) Modular Analytics - A new approach to automation in the clinical laboratory 2005 Ingår i: Journal of Automated Methods and Management in Chemistry. ; 2005:1, s. 8-25 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
2.	Kuepper, David, et al. (författare) Megasonic-assisted development of nanostructures 2006 Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology B. - : American Vacuum Society. - 1071-1023 .- 1520-8567. ; 24:4, s. 1827-1832 Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract The effect of high frequency (1 MHz) acoustic agitation (megasonic agitation) on development of electron beam exposed poly(methylmethacrylate) (PMMA) nanostructures is investigated. Test patterns consisting of dense holes, isolated lines, and gratings with high aspect ratios have been used. Compared to conventional dip development, the sensitivity of the development process is increased and the homogeneity of nanopatterns is improved considerably. Furthermore, experiments towards ultimate aspect ratios and resolution of PMMA in the range of 2 - 3 ran with megasonically assisted development have been carried out. The physical mechanisms for the observed enhanced development performance which is particularly attractive for nanostructuring are discussed. (c) 2006 American Vacuum Society.

Skapa referenser, mejla, bekava och länka

Länka till träfflistan

Resultat 1-2 av 2

Avgränsa träffmängd

Typ av publikation: tidskriftsartikel (2)

Typ av innehåll: refereegranskat (2)

Författare/redaktör: Lemme, Max C., 1970- (1); Chan, Daniel W. (1); Rymo, Lars, 1940 (1); Kurz, Heinrich (1); Luthe, Hilmar (1); Horowitz, Gary L (1); visa fler...; Zaman, Zahur (1); Blanckaert, Norbert ... (1); Dubois, Jeffrey A (1); Golaz, Olivier (1); Mensi, Noury (1); Keller, Franz (1); Stolz, Herbert (1); Klingler, Karl (1); Marocchi, Alessandro (1); Prencipe, Lorenzo (1); McLawhon, Ronald W (1); Nilsen, Olaug L (1); Oellerich, Michael (1); Orsonneau, Jean-Luc (1); Richeux, Gérard (1); Recio, Fernando (1); Roldan, Esther (1); Wicktorsson, Anne-Ch ... (1); Welch, Shirley L (1); Wieland, Heinrich (1); Grawitz, Andrea Buss ... (1); Mitsumaki, Hiroschi (1); McGovern, Margaret (1); Ng, Katherine (1); Stockmann, Wolfgang (1); Kuepper, David (1); Kuepper, Daniel (1); Wahlbrink, Thorsten (1); Bolten, Jens (1); Georgiev, Yordan M. (1); visa färre...

Lärosäte: Göteborgs universitet (1); Kungliga Tekniska Högskolan (1)

Språk: Engelska (2)

Forskningsämne (UKÄ/SCB): Teknik (1)

År

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
LIBRIS.kb.se

pil uppåt

Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy