SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Kaspars A) srt2:(2015-2019)"

Sökning: WFRF:(Kaspars A) > (2015-2019)

  • Resultat 1-2 av 2
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  •  
2.
  • Barankova, Hana, et al. (författare)
  • Reactive Deposition of TiN Films by Magnetron with Magnetized Hollow Cathode Enhanced Target
  • 2018
  • Ingår i: Vacuum. - : Elsevier BV. - 0042-207X .- 1879-2715. ; 152, s. 123-127
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • Magnetized Hollow Cathode Activated Magnetron in which the target is coupled with the hollow cathode magnetized by the magnetic field of the magnetron was tested in the reactive process of TiN deposition. Increased deposition rate compared to the Ti metal deposition rate was confirmed. The depositions as well as optical measurements were performed at several pressures in the reactor. The results of the TiN reactive deposition are presented and discussed, including the TiN deposition in pure nitrogen.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-2 av 2

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy