SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Sajavaara Timo) srt2:(2002-2004)"

Sökning: WFRF:(Sajavaara Timo) > (2002-2004)

  • Resultat 1-2 av 2
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Kukli, Kaupo, et al. (författare)
  • Effect of selected atomic layer deposition parameters on the structure and dielectric properties of hafnium oxide films
  • 2004
  • Ingår i: Journal of Applied Physics. ; 96:9, s. 5298-5307
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • Hf02 films were atomic layer deposited from HfCl4 and H20 onSi(lOO) in the temperature range of 226-750 °C. The films consisted of dominantly the monoclinic polymorph. Elastic recoildetection analysis revealed high residual chlorine and hydrogen contents (2-5 at. %) in the films grown below 300-350 °C. The content of residual hydrogen and chlorine monotonouslydecreased with increasing growth temperature. The effctive permittivity insignificantly depended on thegrowth temperature and water partial pressure. Capacitance-voltage curves exhibited market hysteresis especially in the films grown at 400-450 ° C, and demonstrated enhanced distortions likely due to the increased trap densities in the films grown at 700-750 °C. Changes in water pressure led to some changes in the extent of crystallization, but did not induce any clear change; in the capacitance of the dielectric layer.
  •  
2.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-2 av 2
Typ av publikation
tidskriftsartikel (2)
Typ av innehåll
refereegranskat (2)
Författare/redaktör
Hårsta, Anders (2)
Lu, Jun (2)
Sajavaara, Timo (2)
Sundqvist, Jonas (2)
Kukli, Kaupo (2)
Ritala, Mikko (2)
visa fler...
Aarik, Jaan (2)
Leskelä, Markku (2)
Aidla, Aleks (1)
Uustare, Teet (1)
Pung, Lembit (1)
visa färre...
Lärosäte
Uppsala universitet (2)
Språk
Engelska (2)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (2)

År

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy