WFRF:(Souliere V.)
Sökning: WFRF:(Souliere V.) > (2014) > Applications of vap...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Applications of vapor-liquid-solid selective epitaxy of highly p-type doped 4H-SiC: PiN diodes with peripheral protection and improvement of specific contact resistance of ohmic contacts
-
- Thierry-Jebali, N. (författare)
- Université de Lyon, INSA de Lyon, Laboratoire AMPÈRE, CNRS, Villeurbanne, France
-
- Lazar, M. (författare)
- Université de Lyon, INSA de Lyon, Laboratoire AMPÈRE, CNRS, Villeurbanne, France
-
- Vo-Ha, A. (författare)
- Université de Lyon, Université Claude Bernard Lyon1, LMI, CNRS, Villeurbanne, France
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- Trans Tech Publications, 2014
- 2014
- Engelska.
- Ingår i: SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2013, PTS 1 AND 2. - : Trans Tech Publications. - 9783038350101 ; , s. 639-644
- Konferensbidrag (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- This work deals with two applications of the Selective Epitaxial Growth of highly p-type doped buried 4H-SiC in Vapor-Liquid-Solid configuration (SEG-VLS). The first application is the improvement of the Specific Contact Resistance (SCR) of contacts made on such p-type material. As a result of the extremely high doping level, SCR values as low as 1.3x10-6 Ω.cm2 have been demonstrated. Additionally, the high Al concentration of the SEG-VLS 4H-SiC material induces a lowering of the Al acceptor ionization energy down to 40 meV. The second application is the fabrication of PiN diodes with SEG-VLS emitter and guard-rings peripheral protection. Influence of some process parameters and crystal orientation on the forward and reverse characteristics of the PiN diodes is discussed. © (2014) Trans Tech Publications, Switzerland.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences (hsv//eng)
Nyckelord
- Ohmic contact; P-type 4H-SiC; PiN diode; Selective epitaxial growth; Vapor-liquid-solid
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2013, PTS 1 AND 2 (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Thierry-Jebali, ...
- Lazar, M.
- Vo-Ha, A.
- Carole, D.
- Souliere, V.
- Henry, Anne
- visa fler...
- Planson, D.
- Ferro, G.
- Konczewicz, L.
- Contreras, S.
- Brylinski, C.
- Brosselard, P.
- visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
- NATURVETENSKAP
- och Fysik
- Artiklar i publikationen
- SILICON CARBIDE ...
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
