SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Zhang YY) srt2:(2005-2009)"

Sökning: WFRF:(Zhang YY) > (2005-2009)

  • Resultat 1-5 av 5
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Luo, Gang, et al. (författare)
  • Scanning probe lithography for nanoimprinting mould fabrication
  • 2006
  • Ingår i: Nanotechnology. - : IOP Publishing. - 0957-4484 .- 1361-6528. ; 17:12, s. 3018-3022
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • We propose a rational fabrication method for nanoimprinting moulds by scanning probe lithography. By wet chemical etching, different kinds of moulds are realized on Si( 110) and Si( 100) surfaces according to the Si crystalline orientation. The structures have line widths of about 200 nm with a high aspect ratio. By reactive ion etching, moulds with patterns free from the limitation of Si crystalline orientation are also obtained. With closed-loop scan control of a scanning probe microscope, the length of patterned lines is more than 100 mu m by integrating several steps of patterning. The fabrication process is optimized in order to produce a mould pattern with a line width about 10 nm. The structures on the mould are further duplicated into PMMA resists through the nanoimprinting process. The method of combining scanning probe lithography with wet chemical etching or reactive ion etching (RIE) provides a resistless route for the fabrication of nanoimprinting moulds.
  •  
2.
  •  
3.
  •  
4.
  •  
5.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-5 av 5

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy