Sökning: id:"swepub:oai:research.chalmers.se:3ede402e-bb29-46c0-80af-b0330f8efa3a" >
The influence of wa...
The influence of wafer dimensions on the contact wave velocity in silicon wafer bonding
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
Ljungberg, Karin (författare)
-
Vedde, Jan (författare)
-
(creator_code:org_t)
- 1996
- 1996
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Physics Letters. ; 69:22, s. 3381-3383
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas