Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-67660" >
Composition, struct...
Composition, structure, and dielectric tunability of epitaxial SrTiO3 thin films grown by radio frequency magnetron sputtering
-
- Wang, X (författare)
- Uppsala universitet
-
- Helmersson, U (författare)
- Uppsala universitet
-
- Madsen, LD (författare)
- Uppsala universitet
-
visa fler...
-
- Ivanov, IP (författare)
- Uppsala universitet
-
- Munger, P (författare)
- Uppsala universitet
-
- Rudner, S (författare)
- Uppsala universitet
-
- Hjorvarsson, B (författare)
- Uppsala universitet
-
- Sundgren, JE (författare)
- Uppsala universitet
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- AMER INST PHYSICS, 1999
- 1999
- Engelska.
-
Ingår i: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS. - : AMER INST PHYSICS. - 0734-2101. ; 17:2, s. 564-570
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Epitaxial (001) oriented SrTiO3 films have been deposited on LaAlO3(001) substrates by off-axis radio frequency magnetron sputtering in Ar:O-2 gas mixtures at substrate temperatures ranging from 650 to 850 degrees C. For the deposition conditions used, st
Nyckelord
- INTERDIGITAL CAPACITORS; STRONTIUM-TITANATE; SIMULATION; DEPOSITION; LAALO3; TEMPERATURES
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas