SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-67660"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:uu-67660" > Composition, struct...

Composition, structure, and dielectric tunability of epitaxial SrTiO3 thin films grown by radio frequency magnetron sputtering

Wang, X (författare)
Uppsala universitet
Helmersson, U (författare)
Uppsala universitet
Madsen, LD (författare)
Uppsala universitet
visa fler...
Ivanov, IP (författare)
Uppsala universitet
Munger, P (författare)
Uppsala universitet
Rudner, S (författare)
Uppsala universitet
Hjorvarsson, B (författare)
Uppsala universitet
Sundgren, JE (författare)
Uppsala universitet
visa färre...
 (creator_code:org_t)
AMER INST PHYSICS, 1999
1999
Engelska.
Ingår i: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS. - : AMER INST PHYSICS. - 0734-2101. ; 17:2, s. 564-570
  • Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • Epitaxial (001) oriented SrTiO3 films have been deposited on LaAlO3(001) substrates by off-axis radio frequency magnetron sputtering in Ar:O-2 gas mixtures at substrate temperatures ranging from 650 to 850 degrees C. For the deposition conditions used, st

Nyckelord

INTERDIGITAL CAPACITORS; STRONTIUM-TITANATE; SIMULATION; DEPOSITION; LAALO3; TEMPERATURES

Publikations- och innehållstyp

vet (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy