Sökning: onr:"swepub:oai:research.chalmers.se:03986628-3182-42ca-a840-377e36f77a20" >
Wafer bonding using...
Wafer bonding using oxygen plasma treatment in RIE and ICP RIE
-
- Sanz-Velasco, Anke, 1971 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Amirfeiz, Petra, 1973 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
- Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
- Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
-
(creator_code:org_t)
- 2001
- 2001
- Engelska.
-
Ingår i: Proc. 6th International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding. The Electrochemical Society.. ; 2001:27, s. 31-40
- Relaterad länk:
-
https://research.cha...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- art (ämneskategori)
- ref (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas