SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

WFRF:(Petersson GA)
 

Sökning: WFRF:(Petersson GA) > (1972-1974) > Impurity incorporat...

Impurity incorporation during RF sputtering of silicon oxide layers

Petersson, CS (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
Linker, GA (författare)
Meyer, O (författare)
 (creator_code:org_t)
1972
1972
Engelska.
Ingår i: Physica status solidi. A, Applied research. - 0031-8965 .- 1521-396X. ; 14
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Petersson, CS
Linker, GA
Meyer, O
Artiklar i publikationen
Physica status s ...
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy