SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-282530" "

Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-282530"

  • Resultat 1-1 av 1
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Magnus, Fridrik, et al. (författare)
  • Current-voltage-time characteristics of the reactive Ar/O2 high power impulse magnetron sputtering discharge
  • 2012
  • Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - : American Institute of Physics (AIP). - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 30:5
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • The discharge current–voltage–time waveforms are studied in the reactive Ar/O2 high power impulse magnetron sputtering discharge with a titanium target for 400 μs long pulses. The discharge current waveform is highly dependent on both the pulse repetition frequency and discharge voltage and the current increases with decreasing frequency or voltage. The authors attribute this to an increase in the secondary electron emission yield during the self-sputtering phase of the pulse, as an oxide forms on the target.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-1 av 1
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (1)
Författare/redaktör
Magnus, Fridrik (1)
Gudmundsson, Jon Tom ... (1)
Olafsson, Sveinn (1)
Tryggvason, Tryggvi ... (1)
Lärosäte
Kungliga Tekniska Högskolan (1)
Uppsala universitet (1)
Språk
Engelska (1)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
År
2012 (1)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy