SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Nafari A.) srt2:(2008)"

Sökning: WFRF:(Nafari A.) > (2008)

  • Resultat 1-4 av 4
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  •  
2.
  •  
3.
  • Nafari, A., et al. (författare)
  • MEMS Sensor for< emphasis emphasistype
  • 2008
  • Ingår i: Microelectromechanical Systems, Journal of. - Philadelphia : Institute of Physics (IOP). - 1057-7157. ; 17:2, s. 328-333
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • Here, we present a MEMS atomic force microscope sensor for use inside a transmission electron microscope ITEM). This enables direct in situ TEM force measurements in the nanonewton range and thus mechanical characterization of nanosized structures. The main design challenges of the system and sensor are to reach a high sensitivity and to make a compact design that allows the sensor to be fitted in the narrow dimensions of the pole gap inside the TEM. In order to miniaturize the sensing device, an integrated detection with piezoresistive elements arranged in a full Wheatstone bridge was used. Fabrication of the sensor was done using standard micromachining techniques, such as ion implantation, oxide growth and deep reactive ion etch. We also present in situ TEM force measurements on nanotubes, which demonstrate the ability to measure spring constants of nanoscale systems
  •  
4.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-4 av 4

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy