SwePub
Tyck till om SwePub Sök här!
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Sarwe Eva Lena) ;pers:(Seifert Werner)"

Sökning: WFRF:(Sarwe Eva Lena) > Seifert Werner

  • Resultat 1-2 av 2
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Carlberg, Patrick, et al. (författare)
  • Nanoimprint - a tool for realizing nano-bio research
  • 2004
  • Ingår i: 2004 4th IEEE Conference on Nanotechnology. - 0780385365 ; , s. 199-200
  • Konferensbidrag (refereegranskat)abstract
    • In this paper, we present a status report on how implementation of nanoimprint lithography has advanced our research. Contact guidance nerve growth experiments have so far primarily been done on micrometer-structured surfaces. We have made a stamp with 17 areas of different, submicron, line width and spacing covering a total 2.6 mm
  •  
2.
  • Maximov, Ivan, et al. (författare)
  • Nanoimprint technology for fabrication of three-terminal ballistic junction devices in GaInAs/InP
  • 2003
  • Ingår i: Microelectronic Engineering. - 1873-5568. ; 67-8, s. 196-202
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • We present processing technology based on nanoimprint lithography (NIL) and wet etching for fabrication of GaInAs/InP three-terminal ballistic junction (TBJ) devices. To transfer sub-100 nm features into a high-mobility InP-based 2DEG material, we used SiO2/Si stamps made with electron beam lithography and reactive ion etching. After the NIL, the resist residues are removed in oxygen plasma followed by wet etching of GaInAs/InP to define the M-structures. Fabricated TBJ-devices are characterized using scanning electron microscopy and electron transport measurements. Highly non-linear electrical characteristics of the TBJ structures are demonstrated and compared with E-beam defined devices. (C) 2003 Elsevier Science B.V. All rights reserved.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-2 av 2

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy