Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-26617" >
Low-temperature waf...
Low-temperature wafer direct bonding by surface modification in vacuum
-
Takagi, H (författare)
-
Maeda, R (författare)
-
Ito, T (författare)
-
visa fler...
-
Suga, T (författare)
-
- Vallin, Örjan (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2002
- 2002
- Engelska.
-
Ingår i: The 16th Symposium of the Japanese Institute of Electronics, Tokyo, Japan, March 18-20.
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Electronics
- Elektronik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)