Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-105842" >
Layer-by-layer 3D p...
Layer-by-layer 3D printing of Si micro- and nanostructures by Si deposition, ion implantation and selective Si etching
-
- Fischer, Andreas C. (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
- Gylfason, Kristinn B., 1978- (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
Belova, Lyubov M. (författare)
-
visa fler...
-
- Malm, Gunnar B. (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Radamson, Henry H. (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Kolahdouz, M. (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
Rikers, Y. G. M. (författare)
-
- Stemme, Göran (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
- Niklaus, Frank (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- IEEE conference proceedings, 2012
- 2012
- Engelska.
-
Ingår i: 12th IEEE Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO), 2012. - : IEEE conference proceedings. - 9781467321983 ; , s. 1-4
- Relaterad länk:
-
http://dx.doi.org/10...
-
visa fler...
-
https://kth.diva-por... (primary) (Raw object)
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In this paper we report a method for layer-by-layer printing of three-dimensional (3D) silicon (Si) micro- and nanostructures. This fabrication method is based on a sequence of alternating steps of chemical vapor deposition of Si and local implantation of gallium (Ga+) ions by focused ion beam (FIB) writing. The defined 3D structures are formed in a final step by selectively wet etching the non-implanted Si in potassium hydroxide (KOH). We demonstrate the viability of the method by fabricating 2 and 3-layer 3D Si structures, including suspended beams and patterned lines with dimensions on the nm-scale.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- 3D silicon patterning
- 3D Si printing
- focused ion beam (FIB) writing
- ion implantation
- microstructures
- nanostructures
- MEMS
- NEMS
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas