Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-12207" >
On-chip temperature...
On-chip temperature compensation in an integrated slot-waveguide ring resonator refractive index sensor array
-
- Gylfason, Kristinn, 1978- (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
- Carlborg, Carl Fredrik (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
Kazmierczak, Andrzej (författare)
-
visa fler...
-
Dortu, Fabian (författare)
-
- Sohlström, Hans (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
Vivien, Laurent (författare)
-
Barrios, Carlos Angulo (författare)
-
- van der Wijngaart, Wouter (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
- Stemme, Göran (författare)
- KTH,Mikrosystemteknik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2010
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: Optics Express. - 1094-4087. ; 18:4, s. 3226-3237
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We present an experimental study of an integrated slot-waveguide refractive index sensor array fabricated in silicon nitride on silica. We study the temperature dependence of the slot-waveguide ring resonator sensors and find that they show a low temperature dependence of -16.6 pm/K, while at the same time a large refractive index sensitivity of 240 nm per refractive index unit. Furthermore, by using on-chip temperature referencing, a differential temperature sensitivity of only 0.3 pm/K is obtained, without individual sensor calibration. This low value indicates good sensor-to-sensor repeatability, thus enabling use in highly parallel chemical assays. We demonstrate refractive index measurements during temperature drift and show a detection limit of 8.8 x 10(-6) refractive index units in a 7 K temperature operating window, without external temperature control. Finally, we suggest the possibility of athermal slot-waveguide sensor design.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- SILICON
- DENSITY
- DEVICES
- Electrical engineering, electronics and photonics
- Elektroteknik, elektronik och fotonik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas