Sökning: onr:"swepub:oai:DiVA.org:kth-124540" >
Very large scale he...
-
Zimmer, FabianFraunhofer IPMS
(författare)
Very large scale heterogeneous system integration for 1-megapixel mono-crystalline silicon micro-mirror array on CMOS driving electronics
- Artikel/kapitelEngelska2011
Förlag, utgivningsår, omfång ...
Nummerbeteckningar
-
LIBRIS-ID:oai:DiVA.org:kth-124540
-
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:kth:diva-124540URI
-
https://doi.org/10.1109/MEMSYS.2011.5734530DOI
Kompletterande språkuppgifter
-
Språk:engelska
-
Sammanfattning på:engelska
Ingår i deldatabas
Klassifikation
-
Ämneskategori:ref swepub-contenttype
-
Ämneskategori:kon swepub-publicationtype
Anmärkningar
-
QC 20130916
-
In this paper we demonstrate the first high mirror-count 1-level spatial light modulator (SLM) chip with 1 million tilting micro-mirrors made of mono-crystalline silicon on analogue, high-voltage CMOS driving electronics. The device from a feasibility study shows good optical and excellent mechanical properties. The micro-mirrors exhibit excellent surface properties with a surface roughness below 1 nm RMS, actuated micro-mirrors show no imprinting behavior and operate drift-free. Very large scale heterogeneous system integration was used to fabricate the micro-mirror array; the process is presented in this paper together with a characterization of the fabricated device.
Ämnesord och genrebeteckningar
-
Crystalline silicons
-
Drift-free
-
Fabricated device
-
Feasibility studies
-
Heterogeneous systems
-
High-voltages
-
Mega-pixel
-
Micro mirror
-
Micromirror array
-
Spatial light modulators
Biuppslag (personer, institutioner, konferenser, titlar ...)
-
Lapisa, MartinKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u10vt4i3
(författare)
-
Bakke, ThorSINTEF, Norway
(författare)
-
Bring, MartinFraunhofer IPMS
(författare)
-
Stemme, GöranKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1oyebfq
(författare)
-
Niklaus, FrankKTH,Mikro- och nanosystemteknik(Swepub:kth)u1bcu8r2
(författare)
-
Fraunhofer IPMSMikro- och nanosystemteknik
(creator_code:org_t)
Sammanhörande titlar
-
Ingår i:2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), s. 736-7399781424496327
Internetlänk
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas